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中微利用分子篩的吸附原理的化學反應器,在國內率先開發製造了工業用大型VOC淨化設備。 設備採用機電一體化、電晶體等級的人機防護,具有新穎的線上濃度監測功能,能遠程實时管理和智慧控制,並可根據客戶的要求靈活配寘不同處理規模的系統,提供給客戶可靠、穩定、安全和節能的VOC解決方案。 現時,中微的VOC淨化設備已被廣泛應用於國內平板顯示行業生產線,以改善潔淨室的工作環境。
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