AIX 2800G4-TM MOCVD机台尾气处理过滤器最新改款

AIX 2800G4-TM机型已经确立了应用于3D感应的VCSEL及其他激光二极管大规模生产的领先地位。行星式反应器®的概念不仅最大程度保障了高性能芯片的良率，而且也保证了外延片的均匀性以提供无与伦比的生产力。除了每台机台优良的再现性之外，客户也赞赏了多个机台间绝佳的重复性。

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