【律特霍尔】一种延长MOCVD过滤器寿命的方法

本发明公开了一种延长MOCVD过滤器寿命的方法。本发明是在MOCVD过滤器前端加装水冷装置。水冷装置包括水冷腔体,在水冷腔体内设置有螺旋盘绕的水冷管,水冷管的进水端和出水端分别设置于水冷装置两端,在水冷腔体还设置有用于过滤尾气中大颗粒的不锈钢网滤芯。水冷装置一方面能使一般固体颗粒及低沸点物质在进入过滤器之前发生凝聚沉积,进入过滤器中的颗粒物质变少,降低了单个标准LED程序过程中滤芯的吸附量,延长滤芯寿命,另一方面可以降低进入过滤器内尾气的温度,减少更换过滤器时的等待时间,降低时间成本。

1. 一种延长MOCVD过滤器寿命的方法，其特征在于：在MOCVD过滤器前端加装水冷装置； 所述的水冷装置包括水冷腔体，在水冷腔体内设置有螺旋盘绕的水冷管，水冷管的进水端和出水端分别设置于水冷装置两端，在水冷腔体还设置有用于过滤尾气中大颗粒的不锈钢网滤芯； 所述的水冷装置一方面提前降低高温尾气的温度，使得通过MOCVD过滤器时尾气温度相对较低，同时也将尾气中大颗粒凝聚析出，在水冷装置中****过滤，减少了到达MOCVD过滤器的大颗粒及其数量； 另一方面由于水冷装置是一个连续的冷却系统，在更换MOCVD过滤器时省去了冷却等待的时间，在生产上节约了时间成本。

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