专利【律特霍尔】一种用于MOCVD设备的过滤器

jingpinyeya123 | 2022-11-23 15:17:28 阅读：691

发布文章

专利类型：

实用新型

申请(专利)号：

CN201920736901.5

申请日期：

20190522

公开/公告号：

CN210543945U

公开/公告日期：

20200519

申请(专利权)人：

律特霍尔过滤设备

发明人：

律特霍尔，唐超，王亚伟，林兓兓，张家豪

国省代号：

CN340207

摘要：

本实用新型属于过滤装置领域,尤其涉及一种用于MOCVD设备的过滤器,包括多虑器本体,设于侧壁的进气口,顶端的出气口及滤芯,该滤芯上下表面由滤芯密封圈密封并安装在滤芯固定座上,且由螺杆支撑架,螺杆和螺帽固定,后端安装有固定盖板,该滤芯通过密封法兰固定于过滤器壳体内,其特征在于:所述滤芯内设置有螺旋叶片,所述螺旋叶片横向或者纵向设置于所述滤芯内. 微信图片_20221117160215.jpg

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