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Veeco K465i外延设备滤芯产品说明:该产品系我司针对Veeco K465i设备设计生产的滤芯,安装于真空泵前,用于滤除混合气体中的粉尘和颗粒;2只/组(粗滤、细滤)组成材料:1、滤材: 耐高温玻纤滤料2、支撑材料:双面304#不锈钢金属网3、骨架:304#不锈钢菱形网4、密封垫圈:硅发泡橡胶垫片5、密封胶:硅橡胶
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