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中微公司推出的第二代MOCVD设备“Prismo A7”技术含量和制造工艺水平大幅提升,单腔产量相比第一代产品翻了一番,一经推出使得公司MOCVD设备销量由2016年的3腔飙升至57腔。
今年,中微公司已经推出用于深紫外LED制备的Prismo HiT3TM设备,该设备是适用于高质量氮化铝和高铝组分材料生长的关键设备。
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