一种用于MOCVD设备的固体颗粒物过滤器,包括多虑器本体,设于侧壁的进气口,顶端的出气口及滤芯,该滤芯上下表面有滤芯密封圈密封并安装在滤芯固定座上,且由螺杆支撑架,螺杆和螺帽固定,后端安装有固定盖板,该滤芯通过密封法兰固定于过滤器壳体内,所述滤芯采用单筒,单支耐高温的玻璃纤维材质构成,使用寿命长,使用过程中反应腔与尾气管路(reactor)压差值稳定,便于精准控制压力,且滤芯可清洗,可重复利用,有效降低使用成本;本实用新型无需对外延生产机台进行设备及管路的改造,兼容性强.

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