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手套箱是将高纯惰性气体充入箱体内,并循环过滤掉其中的活性物质的实验室设备。也称真空手套箱、惰性气体保护箱等。主要功能在于对O2,H2O,有机气体的清除。
广泛应用于无水、无氧、无尘的超纯环境,如:锂离子电池及材料、半导体、超级电容、特种灯、激光焊接、钎焊、材料合成、OLED、MOCVD等。也包括生物方面应用,如厌氧菌培养、细胞低氧培养等。
主要由主箱体、过渡室两部分组成。如用户有其它特殊要求,也可以根据需要进行设计制造。[1]
主箱体上有两个(或两个以上)手套操作接口,分布在箱体的前边(或前后两边),这使得本操作箱能被一个(或几个)人同时操作,提高了箱体的使用效率。另外,在箱体的前面(或前后)都有观察窗,操作者能够清楚地观察到箱体内的操作过程,使得操作过程直观地展现在操作者的眼前。过渡室的阀门上有抽气与充气接嘴,在需要抽气或充气时可由此接入。主箱体上也安装有阀门和接嘴,用户在需要维持气压平衡而对主箱体放气或充气时可以使用(手套口之间的三通阀必要时也可以用来放气)。主箱体的前观察窗上方安装了照明日光灯。
律特霍尔制造MOCVD 系统的所有类型的过滤器,例如 VEECO 和 AIXTRON。 过滤器的质量是我们公司的本质,我们专注于客户的效率和体验。 我们的产品可用于:VEECO:E300、D180、E450、E475、K465、K465I、K700AIXTRON:CT500、 G3、G4、G5、Crius I、Crius 2、Crius 3我们的 MOCVD 滤芯拥有超过 10 年的经验,被 50 多个终端用户使用,在中国国内市场每天有 500 多台 MOCVD 设备,并出口到日本,被当地著名的 LED 和功率半导体制造商使用。主要特征:1、采用24折波纹工艺,过滤面积比传统型增加15%,捕颗粒能力更强,使用寿命更长。2、特殊玻璃纤维过滤材料,缝隙更均匀,更透气,低压差,很好地保护MOCVD设备;3、优异的强度、耐高温、耐腐蚀,有利于MOCVD尾气过滤。
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